物理科学学院单福凯教授、刘国侠副教授课题组的论文《以低温无毒全水溶液技术制备金属氧化物薄膜及其在薄膜晶体管中的应用研究》近日发表在Wiley旗下的Advanced Functional Materials上发表。

该论文描述了世界首创性地利用“水性溶胶”技术制备薄膜晶体管，克服了传统溶胶工艺对有机溶剂的依赖，仅利用水和金属硝酸盐即实现了高性能TFT器件的制备;世界首创性地利用“水性溶胶”技术制备氧化钇超薄高介电常数薄膜，极大了缩小了微电子器件的操作电压。

据悉，该论文对低能耗微电子器件的研发具有重要的意义，将对平板显示领域、生物探测领域、以及X光探测器的应用开发等领域产生重要影响。同时，“水性溶胶”技术的成功实施将推动该微电子产业走向更加绿色环保的道路。（作者：物宣）